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2026年9月9日-11日,第27屆中國國際光電博覽會在深圳國際會展中心圓滿落幕。本次展會,北京精量科技(ACCU)攜自主生產研發的核心產品與定制化解決方案亮相光學真空鍍膜館7B17展位,與來自光電、半導體、光伏、新材料等領域的專業觀眾、行業專家及合作伙伴深入交流,共同探討精密流體測控技術在高端制造領域的應用與創新。
一、以自主研發技術 助力高端制造
回顧三天展期,現場觀眾對真空鍍膜、半導體薄膜及新材料涂層領域的氣體流量/壓力控制尤為關注。尤其在CVD和部分PVD工藝中,氣體流量控制器雖不直接參與成膜,卻影響反應氣體配比、沉積過程穩定性以及薄膜厚度、均勻性和最終品質,是高端精密制造的核心關鍵環節。
ACCU本次集中展出的氣體質量流量控制器/流量計、科里奧利質量流量控制器/流量計、壓力控制器、氣液混合蒸發系統等全系列核心產品,憑借穩定的性能、嚴苛的精度與場景化的定制能力,成為展會現場咨詢焦點。
1、氣體質量流量控制器/流量計
作為本次現場咨詢的熱門產品,ACU20FD氣體質量流量控制器/流量計憑借實力收獲廣泛認可。該系列采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體質量流量,不受溫度、壓力影響;具有預熱時間短、零漂小、精度高、響應快等特點;管狀分流設計不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道。同時,針對不同應用場景,ACU20FD支持全金屬密封、常開閥及高壓款等定制方案,進一步滿足不同工藝環境下的差異化需求。在通信兼容性方面,ACU20FD支持RS232/485接口,并兼容Modbus、DeviceNet、PROFINET、EtherCAT、PROFIBUS等多種工業通信協議,可靈活接入各類自動化控制系統。ACU20FD能夠實現氣體流量的快速、精準控制,可廣泛應用于配氣系統、真空鍍膜及其他精密氣體控制場景,為工藝穩定運行提供可靠支持。
2、科里奧利質量流量控制器/流量計

面對半導體、光電、新材料等高端制造領域日益復雜的工藝條件,ACU20FE系列科里奧利質量流量控制器/流量計同樣受到現場客戶的廣泛關注。該系列基于科里奧利力測量原理,聚焦微小流量控制的核心需求,可同時測量質量流量、流體密度和溫度。不受壓力、溫度、密度、電導率、粘度等工況波動影響,具備超強環境適應性與控制穩定性,可滿足半導體、光電新材料等高精尖領域對流體測控的嚴苛標準,助力制程良率提升。
3、氣液混合蒸發系統
在薄膜沉積等需要精確控制氣液混合比例的應用場景中,ACU20CEM氣液混合蒸發系統展現了在精密流體控制領域的技術實力。該系統由液體流量控制器、氣體質量流量控制器、溫度可調混合蒸發器等組成,通過先進控制技術實現液體流量、載氣流量與蒸發溫度的精密測控,長期運行下氣液摩爾比保持穩定無偏移。在薄膜沉積過程中,可確保氣體流量控制的高度一致性,適配半導體薄膜沉積等高精度氣液混合工藝場景。
二、深入交流 聚焦行業需求

展會期間,ACCU展位迎來了眾多國內外行業同仁駐足交流,圍繞產品選型、技術參數、工藝應用、系統集成及定制化需求等多個方面,ACCU團隊與客戶展開了深入溝通,并結合客戶實際工況,一對一解答技術問題、匹配產品方案。
從一個具體的應用需求,到一項技術參數的討論;從單一產品的選型,到整體流體控制方案的探討——每一次交流,都是ACCU進一步理解客戶需求、優化產品與服務的重要機會。而客戶現場提出的每一個問題,也在不斷推動我們思考:如何讓產品更精準?如何讓系統更穩定?如何讓國產精密流體測控技術更好地服務高端制造?
三、技術沒有終點 創新永不停歇

從單一產品到多元化布局,從標準產品到定制化解決方案,ACCU始終堅持以創新驅動發展,不斷實現自我突破,持續完善產品體系與生產能力,不斷提升產品性能與服務水平。
面對光電、半導體、新能源及高端制造領域不斷升級的技術需求,ACCU將繼續深耕精密流體測控領域,以更加穩定、精準的產品與解決方案,積極回應市場需求。
四、收官不落幕,前行不止步
三天展期雖已落幕,但每一次面對面的交流、每一個技術問題的探討、每一份客戶需求的反饋,都在為ACCU持續創新與產品升級積蓄新的力量。
感謝每一位蒞臨ACCU展位的新老客戶、合作伙伴及行業同仁,感謝大家對我司的關注、認可與交流。展會的落幕,并不是終點。每一次相遇,都是新的連接;每一份信任,都是我們繼續前行的動力。
本屆光博會,我們不止于相遇,更期待與您攜手,共赴下一程。
ACCU,期待與您下一次相遇!