太湖之濱，啟新程。2026年8月31日至9月2日，第十四屆半導體設備材料及核心部件展（CSEAC 2026）于無錫太湖國際博覽中心盛大啟幕。全球半導體產業同仁匯聚于此共探產業技術創新與高質量發展新機遇。
一、聚焦行業前沿 精彩亮相
北京精量科技有限公司（以下簡稱“ACCU”）作為精密流體測控領域的專業制造商，攜核心產品與定制化解決方案重磅亮相本次盛會，依托自主核心技術，彰顯展現國產精密流體測控設備的硬核實力。
二、精準適配嚴苛工藝需求
在半導體制造工藝中，氣體質量流量控制器（MFC）是光刻、化學氣相沉積（CVD）、刻蝕、離子注入、擴散等核心工序的關鍵核心部件。其測控精度、穩定性與響應速度，直接決定晶圓膜層均勻性，深刻影響芯片良品率與產品性能，是半導體前道制造中不可或缺的核心設備。
展會上，ACCU集中展示涵蓋氣體質量流量控制器/流量計、科里奧利質量流量控制器/流量計、壓力控制器、氣液混合蒸發器在內的系列核心產品。
其中，自主研發的ACU20FE系列科里奧利質量流量控制器基于經典科里奧利原理，該產品無熱漂移，溫漂與時漂可忽略不計，氣體測量精度達±0.5%F.S.，液體測量精度達±0.25%F.S.，量程覆蓋0~(20g/h...1000kg/h)，適配寬范圍流量工況。即使面對壓力、溫度、密度、電導率和粘度等復雜工況波動下，依舊能保持穩定、精準的測控性能。同時展出的ACU20P系列壓力控制器采用直通式結構設計，壓力控制的量程范圍從100Pa到40MPa（絕壓和表壓皆可），具備精確度高、重復性好、快速穩定等核心優勢，同時設備兼容RS485/232 Modbus、Profibus、DeviceNet等多種數字通訊協議，可快速適配各類產線設備。
此外，ACU20CEM氣液混合蒸發系統也引發廣泛關注。該系統由液體流量控制器、氣體質量流量控制器、溫度可調混合蒸發器等組成，通過先進控制技術實現液體流量、載氣流量與蒸發溫度的精密測控，長期運行下氣液摩爾比保持穩定無偏移，完美適配半導體薄膜沉積等高精度氣液混合工藝場景。
三、核心器件自主可控
硬核產品的背后，是ACCU深厚的自主研發實力與技術積淀。公司不僅具備高水平的研發能力，擁有多項發明專利與軟件著作權，更實現核心器件的全面自主可控。目前，ACCU自主生產研發了應用于科里奧利、熱式、層流差壓式三大原理的高精度質量流量控制器/質量流量計，以及工業級精密壓力控制器，已廣泛應用于半導體制造、光伏新能源、氫能、環保、生物醫藥、石油化工、核能電力等國家重點發展領域，可全面覆蓋實驗室研發、規模化量產的全場景精密流體測控需求。
展會期間，ACCU展臺持續保持高人氣。業界專家、晶圓制造企業代表、科研院所團隊及專業觀眾絡繹而至，眾多訪客駐足展臺，深度咨詢產品技術參數、工藝適配方案及落地應用案例，圍繞精密流體測控技術展開深入研討，多家企業表達明確合作意向，充分印證了ACCU在半導體前道高端裝備領域扎實的技術實力與持續提升的行業影響力。
四、展會落幕 步履不停
未來，ACCU將始終以技術創新為核心引擎、產業協同為發展路徑，持續深耕半導體前道核心技術攻堅，聚焦半導體設備復雜工況需求，始終專注于精密流體測控的自主研發與制造。針對不同介質、高精度需求、真空及高壓等差異化工況，ACCU可提供定制化流體測控解決方案，全面覆蓋半導體晶圓加工、真空設備、新能源等核心應用場景，全方位兼顧設備運行穩定性、測控精準度與場景適配性。
展會落幕，初心不改，步履不停。ACCU將繼續深耕精密流體測控賽道，堅守自主創新、精益求精的研發理念，打磨硬核產品，以可靠的技術與產品，為中國半導體產業升級，為中國芯片高質量發展貢獻力量。
精量科技作為專業的過程儀表和自動化控制設備供應商，堅持“創新科技，服務全球”的經營理念，旨在生產高品質高技術高精度的產品，專業于流量測量，應用廣泛分布于玻璃、冶金、環保、配氣置氣儀器分析、石油石化等領域。
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